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硅粉加工工藝設備的發展趨勢-《天津化工》2012年01期
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論(lun)文:摘要:微電子機(ji)械系統(MEMS)是(shi)一項21世(shi)紀可以廣泛應用的新興技術。硅微機(ji)械加工工藝是(shi)近年來隨(sui)著集成(cheng)電路工藝發展起(qi)來的MEMS主流技術。介紹(shao)了MEMS的特點。
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硅微機械加工技術,作者(zhe):(法)M.埃爾溫斯(si)波克//(捷)H.揚森譯(yi)者(zhe):姜巖峰(feng),ISBN:9787502592585,化學工業,2008-05-01第(di)1版(ban)2008-05-01第(di)1次(ci)印刷。博庫(ku)網全場。
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