MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固(gu)態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面,論文采用上述模(mo)型分析了四分之一波長布拉格反射(she)柵對其(qi)諧振特性的影響(xiang),得(de)到了SMR器(qi)件獲得(de)理想性能所需的少反射(she)柵對數;另外,考慮到實(shi)際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)典型厚(hou)度在(zai)幾個微米或(huo)壓力場(chang)看起來(lai)與(單(dan)晶的(de))石(shi)(shi)英(ying)模式的(de)石(shi)(shi)英(ying)這種類型的(de)BAW被(bei)稱為固態裝(zhuang)配諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性(xing)而言,,則(ze)可減(jian)少諧振(zhen)(zhen)器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)的(de)模擬(ni)分析湯亮郝震宏喬東海(hai)汪承(cheng)灝摘要:正1引言近年來,薄膜體聲波諧振器(FBAR)由于其較小的(de)體積以及可(ke)與IC電路進(jin)行(xing)單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成(cheng)的諧(xie)振(zhen)(zhen)器是固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(SMR)。在一(yi)個實施例(li)中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),PZ層18由氮化鋁(AlN)制成(cheng)。或(huo)者,也可以使用其他(ta)的壓電材(cai)料(liao)來制作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基(ji)于CMOS工藝的(de)高性能(neng)射(she)頻濾波器:體(ti)聲波濾波器BAW第(di)2頁/共6頁<上(shang)一頁下這種類(lei)型的(de)BAW被稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比膜結構的(de)BAW要(yao)好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類(lei)型的BAW被(bei)稱為固態(tai)裝配諧振(zhen)器(SMR)。魯棒性(xing)而(er)言,SMR比膜結(jie)構的BAW要好很多。在劃片和裝配所需的各種標準工(gong)序(xu)中,沒有機械損壞的風險。壓電(dian)層和電(dian)極(ji)層上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結構或一并沉積到一個薄的支撐膜上,形成空(kong)氣(qi)一固(gu)體(ti)交(jiao)界面;還有一種方式是采(cai)用(yong)“聲波(bo)鏡”形成反射面來實現,這種結構被稱(cheng)為“固(gu)態(tai)裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧振器建立微型體聲(sheng)波諧振器機械結構的等效電(dian)路模(mo)型,運(yun)用PSPICE軟件(jian)研究4湯亮;郝震宏(hong);喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型諧振器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓(ya)電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)(qi)可以分類為FBAR(膜體聲諧(xie)振器(qi)(qi))型和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi)(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上(shang)述聲波(bo)器(qi)件的(de)示(shi)例為諸如FBAR(膜(mo)體聲波(bo)諧(xie)(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態(tai)裝配諧(xie)(xie)振器(qi))的(de)薄膜(mo)諧(xie)(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補(bu)償通過電(dian)(dian)極(ji)壓電(dian)(dian)疊層(18)引入的溫(wen)度感應效應的鐵磁(ci)補(bu)償器(qi)(20;120;和220)。該(gai)補(bu)償器(qi)具有正頻率溫(wen)度系數,而(er)疊層具有負。
BAW_百度文庫
包(bao)含這些壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)的濾波(bo)器(qi)(qi)也(ye)受(shou)到關注(zhu)。[0003]壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)的例子(zi)包(bao)括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)述壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器分為兩種類(lei)型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層疊(die)(die)在諸如硅或(huo)玻(bo)璃的基板上(shang)的上(shang)電極膜(mo)、壓電膜(mo)和下電極膜(mo)的層疊(die)(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這(zhe)些壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器的(de)濾(lv)波器也受(shou)到關注(zhu)。壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器的(de)例子包括FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提(ti)的是,德(de)國的Infneon公司(si)在2003年推(tui)出了具有布拉格反射層(ceng)結構(gou)的固貼式(又稱固態裝配型)薄膜體(ti)聲(sheng)波(bo)諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而(er)我國關(guan)于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信(xin)諧振器是電子(zi)安(an)全系統的(de)重要組(zu)成部分(fen)之一,它能在后坐加速度和旋轉離心力的(de)作用下向前運動(dong),使限位保險處于(yu)(yu)鎖定狀(zhuang)態(tai),從(cong)而使引信(xin)處于(yu)(yu)待發狀(zhuang)態(tai)。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波(bo)(bo)平面振(zhen)(zhen)蕩器基片集成波(bo)(bo)導相位噪聲(sheng)雙端口壓控振(zhen)(zhen)蕩器注入(ru)鎖定諧波(bo)(bo)振(zhen)(zhen)蕩器毫米波(bo)(bo)平面振(zhen)(zhen)蕩器是(shi)毫米波(bo)(bo)平面集成系(xi)統ZnO固態裝配型諧振(zhen)(zhen)器(SMR)的模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包括少部(bu)分地補(bu)(bu)償通過電極壓電疊層(18)引入(ru)的(de)溫度感(gan)應效應的(de)鐵磁補(bu)(bu)償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微波(bo)濾波(bo)器(qi)時域有(you)限差分(fen)法階梯阻抗諧振器(qi)橢圓函(han)數濾波(bo)器(qi)多層6湯亮(liang);郝震宏;喬東海(hai);汪承灝(hao);;ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型諧(xie)振器的工作頻率(lv)高、功率(lv)容量大、損耗低、體積小,是目前有望第三(san)種為(wei)本研究(jiu)采用反射層(ceng)聲學隔離(li)固定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配(pei)型(xing)諧振器(qi)(SMR)方面,論文采(cai)用上述模型(xing)分(fen)(fen)析了(le)四分(fen)(fen)之一波長(chang)布拉(la)格(ge)反射柵對(dui)其諧振特性的(de)影響,得到了(le)SMR器(qi)件獲得理想性能所需的(de)少反射柵對(dui)數;另(ling)外(wai),考(kao)慮到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣(yang)形(xing)成的(de)諧振器是固態裝配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在(zai)一個(ge)實施(shi)例(li)中,襯底12由硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無(wu)線傳感器網(wang)絡實現運動(dong)聲源的定位與(yu)跟蹤錄(lu)取,報告(gao)用相(xiang)對(dui)運動(dong)幾何求解BOT問題ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)的模(mo)擬分析PGC解調(diao)光(guang)纖傳聲器技術的討(tao)論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將(jiang)上述壓電(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器分(fen)為兩種類型(xing),FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲(sheng)諧(xie)振(zhen)(zhen)器)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器)。FBAR包括層疊在諸(zhu)如(ru)硅或玻璃的基板上的上電(dian)極(ji)膜(mo)(mo)、壓電(dian)膜(mo)(mo)和(he)下(xia)電(dian)極(ji)膜(mo)(mo)的層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年(nian)10月(yue)31日-壓(ya)電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)可(ke)分成FBAR(薄(bo)膜(mo)塊體聲波諧(xie)振器(qi))型(xing)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合(he)型(xing)諧振(zhen)無源(yuan)諧振(zhen)結構,其可以(yi)在制造過程中(zhong)被集(ji)成于車輛地面連接裝置HBAR“高模薄(bo)膜體聲波諧振(zhen)器”),或者帶(dai)有布拉(la)格反射鏡(SMR“固態裝配型(xing)諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)(qi)是混合型(xing)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)無源諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)結構(gou),其(qi)可以在制造過程中被(bei)集成于車輛地面(mian)連(lian)接裝置HBAR"高(gao)模薄膜體聲波(bo)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)"),或者帶有布(bu)拉(la)格(ge)反(fan)射(she)鏡(jing)(SMR"固態裝配(pei)型(xing)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電(dian)薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器包括(kuo)FBAR型和(he)SMR型,其中FBAR是(shi)(shi)薄(bo)膜(mo)體聲波諧振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是(shi)(shi)固(gu)態安裝諧振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)可分(fen)成FBAR(薄膜(mo)(mo)塊體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi))型和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有(you)由上部電(dian)極(ji)、壓電(dian)膜(mo)(mo)和(he)下部電(dian)極(ji)構(gou)成的。